电子元件如半导体晶圆、陶瓷基板等，要求研磨表面无划痕、平面度≤0.001mm。山东临磨立式磨床在电子元件研磨领域实现技术突破，开辟新应用场景。

设备采用气浮主轴与超硬磨料砂轮，加工 6 英寸晶圆时，表面粗糙度达 Ra0.01μm，无亚表面损伤。针对陶瓷基板的脆性材料特性，采用缓进给磨削技术，去除率达 5μm/min，效率提升 2 倍。

其洁净室级设计（Class 100）可避免粉尘污染，满足电子元件的高精度、高洁净度要求。山东临磨立式磨床，为电子制造业提供超精密研磨解决方案。