半导体光学元件对平面度与平行度要求严苛,传统磨床在长期加工中易出现精度漂移,导致元件透光率下降和波前畸变。如何维持亚微米级稳定性成为行业核心痛点。硅、碳化硅等半导体材料在磨削中易产生局部高温,引发微裂纹与晶格损伤,直接影响晶圆器件的电学性能。从软质红外硫系玻璃到超硬蓝宝石衬底,半导体光学元件材料跨度极大,单一设备难以兼顾加工效率与表面质量。

依托20年精密机床制造经验,我们山东临磨构建了全流程品控体系:从铸件应力消除到闭环温控装配车间,确保设备长期运行精度。提供核心部件5年质保,并配备本地化服务团队,48小时内响应全国客户需求。
山东临磨作为专注半导体设备研发的生产厂家,我们立轴圆台磨床铣磨机采用高刚性结构设计与进口精密主轴,实现平面度≤0.001mm/100mm²的稳定加工。纳米级进给系统结合自适应磨削算法,可高效处理石英玻璃、碳化硅等光学材料,表面粗糙度达Ra0.01μm,满足晶圆载具、光掩膜版等元件的超精密需求。